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本实用新型涉及半导体器件制造设备技术领域，公开了一种用于正侧壁金属蒸发的夹具，包括中空夹具本体，所述中空夹具本体四周设置有卡沿，所述中空夹具本体内左右两侧对称设置有向下凹陷的悬梁，所述左右两侧的悬梁上对称开设有多组凹槽，所述凹槽截面为三角形...
该专利属于四川科尔威光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过四川科尔威光电科技有限公司授权不得商用。

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