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本发明公开了一种载能离化原子团束辅助化学气相沉积制备DLC薄膜的方法及其系统，以无机或者有机基板作为基底，在薄膜沉积之前，利用载能离化原子团束对基底进行溅射清洗、活化和平坦化处理；采用PECVD的方法在基板表面沉积DLC薄膜，同时利用载能离...
该专利属于上海大学所有，仅供学习研究参考，未经过上海大学授权不得商用。

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