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本发明提供了一种新的氨基‑甲硅烷基胺化合物，制备其的方法和使用其的含硅薄膜，其中所述氨基‑甲硅烷基胺化合物具有热稳定性和高挥发性，并且在室温下和压力下保持液态，液态下容易对其进行处理，从而通过各种沉积方法形成具有高纯度和优良物理和电特性的含...
该专利属于DNF有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过DNF有限公司授权不得商用。

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