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本实用新型提供了一种用于多晶硅背面抛光的刻蚀槽，包括槽体，在槽体底部设置有多根背抛螺纹滚轮，所述背抛螺纹滚轮沿所述刻蚀槽中送料方向横置。本实用新型采用背抛螺纹滚轮代替常规的刻蚀槽滚轮，能够在相同的设备传动速度情况下，使得背面腐蚀更加均匀，不...
该专利属于苏州矽美仕绿色新能源有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州矽美仕绿色新能源有限公司授权不得商用。

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