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本实用新型属于一种光刻机上版架领域，尤其涉及一种用于光刻的版架，包括真空承载盘，所述真空承载盘的中部设置有真空环槽，所述真空承载盘上还设置有真空接口，所述真空环槽内设置有与真空接口相连通的连通孔，所述真空承载盘的上部设置有可以拆卸更换的掩膜...
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