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本发明提供一种使光掩膜的检查迅速化的技术。在外观检查装置中，透射照明光源照射透射光掩膜的光。反射照明光源在透射照明光源的照射中照射被光掩膜反射的光。物镜将透射过光掩膜的透射光和由光掩膜反射的反射光转换为平行光。分光部将物镜转换了的平行光分离...
该专利属于V科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过V科技股份有限公司授权不得商用。

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