外观检查装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种使光掩膜的检查迅速化的技术。在外观检查装置中，透射照明光源照射透射光掩膜的光。反射照明光源在透射照明光源的照射中照射被光掩膜反射的光。物镜将透射过光掩膜的透射光和由光掩膜反射的反射光转换为平行光。分光部将物镜转换了的平行光分离为透射光和反射光。透射光用成像透镜对分光部分离出的透射光进行成像。反射光用成像透镜对分光部分离出的反射光进行成像。拍摄部对透射光用成像透镜成像出的透射光和反射光用成像透镜成像出的反射光进行拍摄。

Inspection device

The present invention provides a technique for rapid detection of a photomask. In the appearance inspection device, the transmission light source illuminated the light of the photomask. The reflected light source irradiate the light that is reflected by the photomask in the illumination of the transmission light source. The objective lens transmits the transmission light of the over light mask and the reflected light reflected from the photomask into parallel light. The splitter separate the parallel light from the object mirror into the transmission light and the reflected light. The transmitted light is used to imaging the transmitted light separated by the light splitting part by the imaging lens. The reflected light is used to imaging the reflected light separated from the splitting part by the imaging lens. The transmission light and reflected light are photographed by the imaging lens of the transmission light using the imaging lens.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】外观检查装置
本专利技术涉及一种外观检查装置，尤其是，涉及一种对液晶或有机EL等平板显示器的制造工序中使用的中-大型光掩膜进行检查的外观检查装置。
技术介绍
随着显示器的高精细化，针对作为其原型的中-大型光掩膜的检查精度的要求越来越高。也提出有各种用于检查这些光掩膜的缺陷的技术。在先技术文献专利文献专利文献1：日本特开平8-137093号公报
技术实现思路
专利技术所要决的问题如专利文献1公开那样，为了对光掩膜的缺陷进行检查，使光透射光掩膜的透射系统的检查和由光掩膜使光反射的反射系统的检查等较为有效。但是，由于透射系统的检查和反射系统的检查需要各自的拍摄工序，因此，或检查花费时间、或需要多个拍摄装置。本专利技术为鉴于上述问题而完成的专利技术，其目的在于，提供一种使光掩膜的检查迅速化的技术。用于解决问题的方法为了解决上述问题，本专利技术的一个方式的外观检查装置具备：透射照明光源，其照射透射光掩膜的光；反射照明光源，其在透射照明光源的照射中照射被光掩膜反射的光；物镜，其将透射过光掩膜的透射光和由光掩膜反射的反射光转换为平行光；分光部，其将物镜转换了的平行光分离为透射光和反射光；透射光用成像透本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种外观检查装置，具备：透射照明光源，其照射透射光掩膜的光；反射照明光源，其在所述透射照明光源的照射中照射被所述光掩膜反射的光；物镜，其将透射过所述光掩膜的透射光和由所述光掩膜反射的反射光转换为平行光；分光部，其将所述物镜转换了的平行光分离为透射光和反射光；透射光用成像透镜，其对所述分光部分离出的透射光进行成像；反射光用成像透镜，其对所述分光部分离出的反射光进行成像；以及拍摄部，其对所述透射光用成像透镜成像出的透射光和所述反射光用成像透镜成像出的反射光进行拍摄。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.04.22 JP 2015-0877601.一种外观检查装置，具备：透射照明光源，其照射透射光掩膜的光；反射照明光源，其在所述透射照明光源的照射中照射被所述光掩膜反射的光；物镜，其将透射过所述光掩膜的透射光和由所述光掩膜反射的反射光转换为平行光；分光部，其将所述物镜转换了的平行光分离为透射光和反射光；透射光用成像透镜，其对所述分光部分离出的透射光进行成像；反射光用成像透镜，其对所述分光部分离出的反射光进行成像；以及拍摄部，其对所述透射光用成像透镜成像出的透射光和所述反射光用成像透镜成像出的反射光进行拍摄。2.如权利要求1所述的外观检查装置，其中，所述拍摄部在同一拍摄元件的不同的区域中分别对所述透射光用成像透镜成像出的透射光和所述反射光用成像透镜成像出的反射光进行拍摄。3.如权利要求2所述的外观检查装置，其中，所述外观检查装置还具备遮光部件，该遮光部件对所述透射光用成像透镜成像出的透射光...

【专利技术属性】
技术研发人员：佐藤敬行，
申请(专利权)人：V科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：日本,JP