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一种尺寸测量设备被进一步校准以便改进该设备的初始误差映射或误差函数。在该设备(10)上测量已校准生产工件(14)，并且将测量值与校准值进行比较(44、90)以产生误差值。从这些误差值中的一些或全部与该初始误差映射或函数的全部或部分的组合中产...
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