下载吸附处理装置的技术资料

文档序号:16931833

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吸附处理装置(100)具备筒状转子(90),以及相互被区分开的第1区域(R1)和第2区域(R2);筒状转子(90)中多个吸附体(30)被配置为具有筒孔(90a)的筒状;通过圆筒状转子(90)的旋转,多个吸附体(30)交替地通过第1区域(R1...
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