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一种石墨烯‑二硫化钼侧向异质结光电探测器结构制造技术
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下载一种石墨烯‑二硫化钼侧向异质结光电探测器结构的技术资料
文档序号:16921605
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一种石墨烯‑二硫化钼侧向异质结光电探测器结构,属于光电探测技术领域。光电探测器至少包括硅/二氧化硅衬底,薄层石墨烯材料以及薄层二硫化钼材料组成的沟道材料,还包括必要的金属电极及电极黏附层。在硅衬底上为二氧化硅层,二氧化硅层上为石墨烯‑二硫化...
该专利属于北京工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京工业大学授权不得商用。
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