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本发明涉及用于半导体样品工作流的方法和装置。描述了用于使用现有的自动化基础设施(诸如前开口一体盒(FOUP))在半导体制造设施中自动传送和存储透射电子显微镜(TEM)和扫描/透射电子显微镜(STEM)薄片样品的装置和方法。还提供了对应于半导...
该专利属于FEI公司所有，仅供学习研究参考，未经过FEI公司授权不得商用。

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