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本发明提供了一种光阻剥离液的控制装置及控制方法，控制装置包括：用于存储光阻剥离新液的第一存储槽、用于存储光阻剥离液的光阻剥离槽、用于存储光阻剥离废液的第二存储槽、检测器以及控制器；光阻剥离槽和第一存储槽通过第一开关连通；光阻剥离废液为从光阻...
该专利属于武汉华星光电技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过武汉华星光电技术有限公司授权不得商用。

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