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本发明公开一种LTPS的制备工艺，使用正硅酸乙酯来制备LTPS中的SiOX膜层，具体步骤为将正硅酸乙酯与弱酸溶液混合，制成溶胶，再将溶胶涂覆并形成SiOX膜层；适当加厚栅极绝缘层的SiOX层并去掉该层的SiNX。由于TEOS所制备SiOX膜...
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