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本发明公开一种多晶硅片水基清洗剂，是浅黄色透明液体，有如下组分和重量百分配比：表面活性剂２０～４０、溶剂５～１５、光亮剂１０～２０、分散剂（ＴＤ－１、ＴＤ－２）１０～１８、ｐＨ调节剂１５～２０、去离子水３０～４０。是利用表面活性剂的复配性能...该专利属于大连三达奥克化学股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过大连三达奥克化学股份有限公司授权不得商用。
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本发明公开一种多晶硅片水基清洗剂，是浅黄色透明液体，有如下组分和重量百分配比：表面活性剂２０～４０、溶剂５～１５、光亮剂１０～２０、分散剂（ＴＤ－１、ＴＤ－２）１０～１８、ｐＨ调节剂１５～２０、去离子水３０～４０。是利用表面活性剂的复配性能...