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本发明公开一种电容式液位传感器及其制备方法。包括表面PDMS层，Si结构层，底部玻璃层。其中Si结构层及电极使用DRIE干法刻蚀、湿法腐蚀相结合的工艺实现，通过离子键合与PDMS层形成密闭液腔，液位的变化引起电容极板间电解质变化，从而导致电...
该专利属于西安交通大学所有，仅供学习研究参考，未经过西安交通大学授权不得商用。

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