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本发明涉及具有闭孔结构的超高空隙体积抛光垫。具体地说，本发明提供用于化学机械抛光的包含多孔聚合材料的抛光垫，其中该抛光垫包含闭孔且其中该抛光垫具有70％或更大的空隙体积分数。还公开了用于制备前述抛光垫的方法及通过使用前述抛光垫来抛光基板的方...
该专利属于嘉柏微电子材料股份公司所有，仅供学习研究参考，未经过嘉柏微电子材料股份公司授权不得商用。

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