下载单晶炉的技术资料

文档序号:16896502

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本实用新型公开了一种能够提高生产效率的单晶炉。该单晶炉包括炉体,所述炉体内部设有石墨坩埚,所述石墨坩埚底部通过坩埚轴与炉体底部相固定,所述石墨坩埚内设有石英坩埚,石墨坩埚外侧设置有侧部加热器,所述炉体侧壁上设置有抽气孔,所述石墨坩埚的底部设...
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