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本发明提供了一种MEMS麦克风，包括设有多个声孔的背极板、与所述背极板相对且间隔设置以形成电容结构的振动膜、由所述背极板向所述振动膜方向延伸形成的凸部、贯穿所述振动膜设置的通孔及贯穿所述凸部设置的平衡孔；所述凸部与所述通孔正对设置且所述凸部...
该专利属于瑞声声学科技（深圳）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过瑞声声学科技（深圳）有限公司授权不得商用。

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