MEMS麦克风制造技术

本发明专利技术提供了一种MEMS麦克风，包括设有多个声孔的背极板、与所述背极板相对且间隔设置以形成电容结构的振动膜、由所述背极板向所述振动膜方向延伸形成的凸部、贯穿所述振动膜设置的通孔及贯穿所述凸部设置的平衡孔；所述凸部与所述通孔正对设置且所述凸部的靠近所述通孔的一侧与所述通孔齐平；当所述振动膜受压力向所述背极板方向移动时使所述平衡孔经所述空气间隙将所述背极板的远离所述振动膜的一侧与所述振动膜的远离所述背极板的一侧连通。与关技术相比，本发明专利技术的MEMS麦克风声学性能好且可靠性强。

MEMS Microphone

The invention provides a MEMS microphone, including a plurality of acoustic holes on the back plate, and the back plate relative and arranged at intervals to form a capacitor structure of the vibration film, by the back plate to the vibration direction forming a convex part of the film, through the diaphragm and a through hole arranged through the convex set balance hole; one side of the convex portion and the through hole is arranged and the convex portion adjacent to the through hole and the through hole flush; when the diaphragm pressure plate back to the direction of moving the side away from the balance hole the vibration diaphragm of the air gap of the back plate and the diaphragm from the back plate is connected to one side. Compared with the closed technology, the MEMS microphone of the invention has good acoustic performance and reliability.

【技术实现步骤摘要】
MEMS麦克风
本专利技术涉及声电领域，尤其涉及一种运用于便携式电子产品的MEMS麦克风。
技术介绍
通讯技术的发展，在全球范围内移动电话的用户越来越多，用户对移动电话的需求已不仅满足于通话，而且要能够提供高质量的通话效果，尤其是目前移动多媒体技术的发展，移动电话的通话质量更显重要，移动电话的麦克风作为移动电话的语音拾取装置，其设计的好坏直接影响通话质量。相关技术中的麦克风，特别是MEMS麦克风包括背板、与所述背板相对间隔设置以形成电容的振膜、由背板向所述振膜方向延伸形成的凸部及贯穿所述振膜设置的通孔，所述凸部正对所述通孔设置并与所述通孔形成空气间隙，使得所述MEMS麦克风正常工作。当所述振膜受到由背板向振膜方向的气压时，所述振膜向远离背板的方向移动，即远离所述凸部，从而使得所述通孔与所述凸部形成的所述空气间隙增大，气压由空气间隙流出以平衡该压力。然而，当所述振膜受到由振膜向背板方向的气体压力时，所述振膜向靠近所述背板方向移动，即靠近所述凸部，使得所述通孔与所述凸部形成的空气间隙不能增大，则所述背板远离所述振膜一侧的气体无法经所述空气间隙流出以平衡该压力，从而影响所述MEMS麦克风的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种MEMS麦克风，包括设有多个声孔的背极板、与所述背极板相对且间隔设置以形成电容结构的振动膜、由所述背极板向所述振动膜方向延伸形成的凸部及贯穿所述振动膜设置的通孔，所述凸部与所述通孔正对设置，所述通孔的孔壁与所述凸部之间形成空气间隙，其特征在于，所述MEMS麦克风还包括贯穿所述凸部设置的平衡孔，当所述振动膜受压力向所述背极板方向移动时使所述平衡孔经所述空气间隙将所述背极板的远离所述振动膜的一侧与所述振动膜的远离所述背极板的一侧连通。

【技术特征摘要】
1.一种MEMS麦克风，包括设有多个声孔的背极板、与所述背极板相对且间隔设置以形成电容结构的振动膜、由所述背极板向所述振动膜方向延伸形成的凸部及贯穿所述振动膜设置的通孔，所述凸部与所述通孔正对设置，所述通孔的孔壁与所述凸部之间形成空气间隙，其特征在于，所述MEMS麦克风还包括贯穿所述凸部设置的平衡孔，当所述振动膜受压力向所述背极板方向移动时使所述平衡孔经所述空气间隙将所述背极板的远离所述振动膜的一侧与所述振动膜的远离所述背极板的一侧连通。2.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述凸部与所述背极板为一体结构。3.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述凸部包括由所述背极板向所述振动膜方向延伸且围成柱状的侧壁和盖设固定于所述侧壁的远离所述背极板一端的底壁，...

【专利技术属性】
技术研发人员：张金宇，张睿，
申请(专利权)人：瑞声声学科技深圳有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44