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半导体装置及显示装置制造方法及图纸
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文档序号:16876723
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半导体装置包括:第1绝缘膜(11);由多晶硅形成的第1半导体层(SC1);由氧化物半导体形成的第2半导体层(SC2);第2绝缘膜(12);第1栅极电极(GE1);第2栅极电极(GE2);由硅氮化物形成的第3绝缘膜(13);及保护层(20)。...
该专利属于株式会社日本显示器所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社日本显示器授权不得商用。
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