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用于背面金属化的晶片切片的方法技术
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下载用于背面金属化的晶片切片的方法的技术资料
文档序号:16876660
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提供了用于背面金属化的晶片切片的方法实施例。一种方法包括:向半导体晶片的正面施加切片带,其中,所述半导体晶片的所述正面包括有源电路;切割所述半导体晶片的背面,所述背面与所述正面相对,其中,所述切割在所述半导体晶片的划道中形成逆行空腔,所述逆...
该专利属于恩智浦美国有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过恩智浦美国有限公司授权不得商用。
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