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用于重组晶圆的测试系统及其方法技术方案
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下载用于重组晶圆的测试系统及其方法的技术资料
文档序号:16876618
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本发明公开了一种用于重组晶圆的测试系统,包含:一第一移动机构;一影像撷取单元,连接第一移动机构,其中影像撷取单元于可以于第一移动机构之中移动;一致动平台,用于承载一重组晶圆;一探针卡,于操作时配置于致动平台的上方;以及一透镜,连接第二移动机...
该专利属于豪威科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过豪威科技股份有限公司授权不得商用。
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