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微纳米薄膜制备装置制造方法及图纸
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下载微纳米薄膜制备装置的技术资料
文档序号:16876305
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本实用新型公开了一种微纳米薄膜制备装置,包括底座,底座的上侧面为平整的工作面,工作面下方形成真空腔体,真空腔体上设有抽气转接头,工作面上设有若干个吸气孔;工作面的上方铺设有样品基底,样品基底通过吸气孔产生的吸力吸附于工作面上,样品基底的两侧...
该专利属于信阳师范学院所有,仅供学习研究参考,未经过信阳师范学院授权不得商用。
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