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晶片转运装置制造方法及图纸
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文档序号:16876233
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晶片转运装置。涉及晶片生产工艺领域,有尤其涉及一种晶片转运装置。提供了一种结构简单、成本低且适配多种规格晶片、应用范围广的晶片转运装置。包括上部开口的箱体和设于箱体内的若干挡板,其特征在于,所述挡板上设有晶片固定装置,所述晶片固定装置包括对...
该专利属于扬州杰利半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过扬州杰利半导体有限公司授权不得商用。
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