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一种室温下制备AZO透明导电薄膜的方法，将衬底放置在磁控溅射设备的真空腔室内，对该腔室内抽真空。当背底真空到达2×10...
该专利属于中国科学院电工研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院电工研究所授权不得商用。

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