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本实用新型提供了一种单晶炉四抽气口管道系统,包括抽气主管道、第一抽气支管道、第二抽气支管道、第三抽气支管道、第四抽气支管道、第一三通管道、第二三通管道、真空阀、真空泵、下炉室,所述下炉室侧壁上均匀分布有抽气口A、抽气口B、抽气口C及抽气口D...该专利属于西安创联新能源设备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过西安创联新能源设备有限公司授权不得商用。
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本实用新型提供了一种单晶炉四抽气口管道系统,包括抽气主管道、第一抽气支管道、第二抽气支管道、第三抽气支管道、第四抽气支管道、第一三通管道、第二三通管道、真空阀、真空泵、下炉室,所述下炉室侧壁上均匀分布有抽气口A、抽气口B、抽气口C及抽气口D...