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本发明公开了一种聚合物，由以下方法制得：将苯乙烯类单体、4‑乙烯基苯并环丁烯、引发剂和有机溶剂混合后，在惰性气体保护下反应，反应结束后降温，将反应液倒入沉析溶剂中使聚合物沉淀出来，过滤，真空干燥得聚合物。本发明还公开了聚合物作为光刻工艺抗反...该专利属于江苏明魁高分子材料技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏明魁高分子材料技术有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种聚合物，由以下方法制得：将苯乙烯类单体、4‑乙烯基苯并环丁烯、引发剂和有机溶剂混合后，在惰性气体保护下反应，反应结束后降温，将反应液倒入沉析溶剂中使聚合物沉淀出来，过滤，真空干燥得聚合物。本发明还公开了聚合物作为光刻工艺抗反...