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本实用新型提供一种研磨垫，包括研磨层。研磨层具有研磨面以及背面，且研磨层的背面具有螺旋波纹。本实用新型提供的研磨垫，可使得在后续研磨过程中所产生的气泡得以排出，而经由检测窗检测研磨目标的研磨程度时，可以提升其检测灵敏度。...
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