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本实用新型提供一种盖层、具有盖层的研磨垫。研磨垫包括研磨层、沟槽图案以及盖层。研磨层具有第一表面以及第二表面。沟槽图案位于研磨层的第一表面。盖层位于第一表面上且覆盖沟槽图案。本实用新型提供的盖层、具有盖层的研磨垫，使研磨垫不易产生变形，可以...
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