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本发明提供了一种气体纯化装置，其包括：真空罩筒，其具有真空容纳腔，所述真空罩筒上安装有制冷机，所述制冷机具有伸入所述真空容纳腔内的冷头，所述制冷机通过制冷循环管路连接有制冷压缩机；纯化器，其位于所述真空容纳腔中，所述纯化器具有依次相连的第一...
该专利属于清华大学所有，仅供学习研究参考，未经过清华大学授权不得商用。

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