下载一种芯片清洁装置的技术资料

文档序号:16855007

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本实用新型公开了一种芯片清洁装置,旨在提供一种减少芯片出现偏移的芯片清洁装置,其技术方案要点是,包括带有进口及出口的水洗箱,所述水洗箱内设有传输装置,所述传输装置上方设有用于清洗芯片表面的清洁装置,所述传输装置包括固定于水洗箱进口处内壁的电...
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