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本实用新型涉及一种新型的阵列式射频离子源装置，包括冷却管路及多个射频离子源单元；每个射频离子源单元均包括平行栅网固定座、绝缘电离腔、射频线圈及绝缘底座，射频线圈螺旋套设于绝缘电离腔的外侧壁上，绝缘电离腔的顶部及底部均开口，平行栅网固定座与绝...
该专利属于中山市博顿光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中山市博顿光电科技有限公司授权不得商用。

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