下载中介层、半导体封装结构及半导体工艺的技术资料

文档序号:16840166

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本发明揭示一种中介层,其包含互连结构及重布层。所述互连结构包含金属层、至少一个金属导通体及隔离材料。所述金属层界定具有侧壁的至少一个通孔。所述至少一个金属导通体安置在所述通孔中。在所述至少一个金属导通体与所述通孔的所述侧壁之间具有空间,且所...
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