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本实用新型提供一种成膜设备，属于成膜技术领域，其可至少部分解决现有的防着板清洁完全靠人工进行的问题。本实用新型的成膜设备包括：成膜腔，其用于在设于其内部的基板上成膜；传送单元，其用于沿传送路径将防着板送入成膜腔并移动到预定位置，以及沿传送路...该专利属于合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司授权不得商用。