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本实用新型提供一种基座载台，所述基座载台包括：中心部、位于所述中心部外围的边缘环形部、以及连接所述中心部与所述边缘环形部的若干个连接部；其中，所述中心部内设置有上下贯穿的排水孔，所述连接部内设置有上下贯穿的通孔。通过上述方案，本实用新型提供...该专利属于中芯国际集成电路制造（北京）有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（北京）有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司授权不得商用。