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能够供电至阳极的供电体及镀覆装置制造方法及图纸
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下载能够供电至阳极的供电体及镀覆装置的技术资料
文档序号:16831205
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本发明提供能够供电至阳极的供电体及镀覆装置,在阳极进行溶解时,与现有技术相比能够降低供电体与阳极的接触状态的恶化。供电体能够供电至在镀覆槽内对基板进行镀覆时使用的阳极(5),该供电体具有:能够配置在阳极(5)的外周的主体部(1);和配置在主...
该专利属于株式会社荏原制作所所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社荏原制作所授权不得商用。
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