下载能够供电至阳极的供电体及镀覆装置的技术资料

文档序号:16831205

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本发明提供能够供电至阳极的供电体及镀覆装置,在阳极进行溶解时,与现有技术相比能够降低供电体与阳极的接触状态的恶化。供电体能够供电至在镀覆槽内对基板进行镀覆时使用的阳极(5),该供电体具有:能够配置在阳极(5)的外周的主体部(1);和配置在主...
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