下载一种直排推进式高效硅片切割装置的技术资料

文档序号:16826521

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种直排推进式高效硅片切割装置,属于硅片切割加工领域,包括导轮,所述导轮上缠有金刚线,所述金刚线上硅碇直排方式排布,所述硅碇后设有推进杆,所述推进杆连有电动机,所述推进杆中间设有红外感应器,所述导轮上方两端设有冷却液喷嘴。本发明结...
该专利属于浙江华友电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过浙江华友电子有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。