下载一种硅片顶升梳齿机构的技术资料

文档序号:16821020

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本发明公开了一种硅片顶升梳齿机构,包括:梳齿组件;以及用于驱动所述梳齿组件升降的顶升组件,其中,所述梳齿组件包括支撑架以及由该支撑架所支撑的梳齿,梳齿设有两组且相互平行间隔地设置,该梳齿由若干片梳齿片从左至右依次紧挨排列而成,梳齿片包括位于...
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