下载薄膜晶体管及其制备方法、阵列基板和显示装置的技术资料

文档序号:16821004

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本发明属于显示技术领域,具体涉及一种薄膜晶体管及其制备方法、阵列基板和显示装置。该薄膜晶体管,包括栅极、有源层、源极和漏极,其中,所述有源层包括多晶硅材料和非晶硅材料,所述有源层中的非晶硅材料与所述源极和所述漏极之间分别通过低接触电阻层接触...
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