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本发明提供一种薄膜晶体管及其制作方法以及阵列基板。该薄膜晶体管在源极(4)与漏极(6)之间设置间隔层(5)，在所述间隔层(5)与漏极(6)一侧设置接触部分漏极(6)上表面、漏极(6)与有机物间隔层(5)的侧面、及部分源极(4)上表面的氧化物...该专利属于武汉华星光电半导体显示技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过武汉华星光电半导体显示技术有限公司授权不得商用。
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