下载一种环保型半导体晶片的技术资料

文档序号:16820991

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本发明公开了一种环保型半导体晶片,它包括第一基底层和第二表面层,所述第一基底层中各组分的质量分数为:二氧化硅12‑20份、硼元素1.5‑3份、磷元素0.5‑2.5份、砷元素3‑6份,所述第二表面层中各组分的质量分数为:三氧化二硅15‑25份...
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