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本发明提供一种控制晶圆排队等待时间的方法和系统，所述方法包括：排队等待时间起点测量步骤，其中包括在第一制造工艺中测量至少一个晶圆执行完所述第一制造工艺的第一时间节点；排队等待时间终点测量步骤，其中包括在所述第一制造工艺之后执行的第二制造工艺...该专利属于中芯国际集成电路制造（上海）有限公司;中芯国际集成电路制造（北京）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（上海）有限公司;中芯国际集成电路制造（北京）有限公司授权不得商用。