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显示面板、显示装置及低温多晶硅薄膜晶体管的制备方法制造方法及图纸
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下载显示面板、显示装置及低温多晶硅薄膜晶体管的制备方法的技术资料
文档序号:16820876
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本发明提供一种显示面板、显示装置及低温多晶硅薄膜晶体管制备方法。所述制备方法包括:提供一衬底基板;在衬底基板上形成半导体层;在半导体层上形成第一绝缘层;在第一绝缘层上形成第一金属层,并对第一金属层进行图形化处理,以得到第一金属栅极层;在第一...
该专利属于武汉华星光电技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过武汉华星光电技术有限公司授权不得商用。
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