下载双角度类梯形截面形状的鳍型场效应晶体管及其评价方法的技术资料

文档序号:16820875

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本发明公开了晶体管领域内的一种双角度类梯形截面形状的鳍型场效应晶体管,包括半导体鳍,半导体鳍的沟道区上设有栅极氧化物,栅极氧化物上设有栅极金属层,半导体鳍包括顶面、底面以及两对称设置的侧面,侧面包括第一侧面和第二侧面,第一侧面的顶部连顶面,...
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