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本发明公开了一种薄膜晶体管的制作方法，其应用于显示面板铜制程，包括：在衬底基板上形成第一金属层，图案化所述第一金属层以形成薄膜晶体管的栅极；在所述栅极上方形成栅极绝缘层；在所述栅极绝缘层上方依次形成半导体层和第二金属层；在所述第二金属层上方...
该专利属于武汉华星光电技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过武汉华星光电技术有限公司授权不得商用。

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