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本发明涉及压力传感器技术领域，特指一种双膜电容式压力传感器及制作方法，包括玻璃衬底，玻璃衬底中心位置上设有浅槽，浅槽中心位置设有浅槽通孔，浅槽通孔从浅槽底面延至玻璃衬底底面，浅槽上设有可测量低压差的电容C1与可测量高压差的电容C2，可测量低...
该专利属于佛山市川东磁电股份有限公司;东南大学所有，仅供学习研究参考，未经过佛山市川东磁电股份有限公司;东南大学授权不得商用。

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