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本发明提供一种柔性基板检测系统及方法，基于表面扫描共焦的原理，利用第一透镜和第二透镜同时将激光光源发出的光分别汇聚在待检测聚酰亚胺柔性基板的边缘，以及边缘外围的玻璃基板的表面。两束反射光分别沿原路返回并经两个半透半反分光镜折射分别进入两组光...
该专利属于武汉华星光电半导体显示技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过武汉华星光电半导体显示技术有限公司授权不得商用。

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