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本实用新型涉及一种带有探针保护装置的针测机，包括测试机、连接电路板、弹簧针塔式连接器、机械臂、探针卡、光学影像系统、待测晶圆、承载托盘和针测机；所述探针卡包括探针卡底板和探针,其特征在于通过红外感应器监控针测机光学影像系统到探针卡底板距离，...
该专利属于安徽超元半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过安徽超元半导体有限公司授权不得商用。

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