下载薄膜应变式扭矩传感器的技术资料

文档序号:16810868

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本实用新型公开了一种薄膜应变式扭矩传感器,包括转接上法兰,转接下法兰,固接在所述转接上下法兰之间的扭柱组成,其特征在于:所述扭柱是左右侧面分别加工有弧形凹槽、上下部分别加工有三角孔、一侧平面上采用溅射薄膜技术制造有包含四个应变敏感电阻的四个...
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