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悬浮液、研磨液套剂、研磨液以及使用它们的基板的研磨方法技术
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文档序号:16809432
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本发明涉及的悬浮液,含有磨粒和水,磨粒含有4价氢氧化铈粒子,且在将该磨粒的含量调节至1.0质量%的水分散液中,对于波长500nm的光有50%/cm以上的光透过率。本发明涉及的研磨液,含有磨粒、添加剂和水,磨粒含有4价氢氧化铈粒子,且在将该磨...
该专利属于日立化成株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过日立化成株式会社授权不得商用。
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